4.位移分辨率：≤0.02nm；位移噪音背景: ≤1nm；

5.安裝于掃描電鏡中，可以精確施加載荷，檢測位移，在電鏡下做壓痕、拉伸、彎曲、壓縮測試；可以借助掃描電鏡的的高分辨率，觀測并記錄整個材料測試過程，觀測材料在力下發(fā)生的動態(tài)變化，如金屬蠕變、相變、斷裂起始等。該設(shè)備可以將材料的力學(xué)數(shù)據(jù)（載荷-位移曲線）與相應(yīng)SEM視頻之間實現(xiàn)時間同步，可以在整個測試過程中極其精確地定位壓頭并對變形過程成像的同時，能準(zhǔn)確得到定量的載荷和位移的數(shù)據(jù)。